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什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。为了从这些环境干扰中解放出来，开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统，干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。原理：干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，欢迎您的来电！上海线光谱共焦传感器测量速度
非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准上海光谱共焦传感器应用案例使用简单，拆装方便，扫描速度快，定位精度高重复精度±0.5~±1µm；稳定性高，抗干扰能力强。
半导体行业材料强国是科技强国的基础，第三代半导体材料扮演着愈发关键的角色，也正日益成为国际、国内科技和产业竞争的**领域之一。我国精密加工技术和配套能力进步迅速，已经具备开发并且逐步主导第三代半导体装备的能力。全国多地积极响应，促进地方产业转型升级。该微电子产业发展政策，针对第三代半导体企业购买IP、参与研发多项目晶圆等做出了详细的扶持说明。深圳正实施新一轮创新发展战略布局，机器人、无人驾驶、等新兴产业日新月异，坪山区将依托5G试点，建设第三代半导体产业集聚区。
公司基于创新的技术开发了两个系列的产品：从0.1μm到100mm测量行程的点光谱共焦传感器、从1.8mm到45mm线长的不同测量行程的线光谱共焦传感器。这些高分辨率的非接触式传感器***运用于各种不同要求的高精密测量场合。从物体表面细微结构、形状及纹理粗糙度的测量分析，到工业环境下的在线质量检测、过程控制与逆向工程，及实验室研究场合的高精度设备，我们的光谱共焦传感器都成了众多客户不可或缺的选择。我们为全球各行业（可应用行业范围：玻璃、医疗、电子、半导体、汽车、航空航天、制表业…等）企业提供高性能的光谱共焦位移传感器。任何材料的物体，如金属、玻璃、陶瓷、半导体、塑料、织物等，我们的光谱共焦传感器都可轻松测量，而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求，无论什么颜色，物体表面是漫反射或者高光面，乃至于镜面都可以轻松测量。马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司。
太阳能路灯节能环保，无污染、无危害，所以它越来越受欢迎，走入我们的视线，慢慢占据了市场。现如今太阳能路灯的电池层出不穷，除了常规的铅酸电池和胶体电池以外，锂电池更是轻易得到了人们的认可。锂电池无污染、寿命长、温度适应能力强、更智能、更安全的优点得到了人们的青睐。马波斯tsil光谱共焦技术在锂电池检测上的应用锂电池电池粗糙度测量航空航天行业航空航天行业是一个以现代科学为基础的高新技术产业，是国民经济建设的重要组成部分，我国一直以来都大力发展航空航天行业，且已经成为一个航天实力雄厚的强国。马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，有想法可以来我司咨询！上海Marposs 传感器测量范围
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而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜，延长不同颜色光的焦点光晕范围，形成特殊放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长，就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜，返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上，小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱，也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强，在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面，需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅，可以根据反射光的波长，增强或减弱折射率。因此，CCD矩阵上的每一个位置，对应一个测量物体到探头的距离。上海线光谱共焦传感器测量速度
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