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对外延片以Lapping的方式虽然加工品质较好。但是移除率太低，比较高也只能达到3um/min左右，如果全程使用Lapping的话，此加工就需耗时约2h，时间成本过高。目前的解决方式是在Lapping之前加入Grinding的制程，通过钻石砂轮与减薄机的配合来达到快速减薄的目的。，既能达到较高的移除率，又能修复Grinding制程留下的较深刮伤。一般来说切割过程中发生裂片都是由于Grinding制程中较深的刮伤没有去除，因此此时对钻石液的要求也比较高。除了裂片之外，有些芯片厂家为了增加芯片的亮度，在Lapping的制程之后还会在外延片背面镀铜，此时对Lapping之后的表面提出了更高的要求。虽然有些刮伤不会引起裂片，但是会影响背镀的效果。此时可以采用3um多晶钻石液或者更小的细微性来进行Lapping制程，以达到更好的表面品质。 此后若再增加研磨压力，效率反而下降。湖南精密五金平面按需定制
平面研磨机分为很多种，按照所磨工件的大小分为小型，中型和大型。小型研磨机一般磨200mm以内的工件，中型研磨机一般磨600mm以内的工件，大型平面研磨机一般指能磨600-1000mm以上的大型金属板材。平面研磨机主要有真空主轴、砂轮架、滑座、工作台、床身、冷却液系统、液压传动系统以及电机，修正轮，加压气缸，铝底座，压重块等共同组成起来的。介绍一下中小型平面研磨机的结构和组成。平面研磨机的构造：(1)真空主轴，用于固定工件(2)砂轮架——安装砂轮并带动砂轮作高速旋转，砂轮架可沿滑座燕尾导轨作手动或液动横向间隙运动。(3)滑座——安装砂轮架并带动砂轮架沿立柱导轨作上下运动。(4)立柱——支承滑座及砂轮架。(5)工作台——安装工件并由液压系统驱动作往复直线运动。(6)床身——支承工作台、安装其它部件。(7)冷却液系统——向磨削区提供冷却液(皂化油)。(8)液压传动系统——其组成有：1)动力元件——为油泵，供给液压传动系统压力油;2)执行元件——为油缸，带动工作台等部件运动;3)控制元件——为各种阀，控制压力、速度、方向等;4)辅助元件——如油箱、压力表等。液压传动与机械传动相比具有传动平稳，能过载保护，可以较大范围实现无级调速等优点。(9)电机。
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用手逆时钟方向旋动千分尺一整圈(往上移动即退刀)，然后将修面机后退，此时修面机刀架往研磨盘外边移动,一直到自动停止或脱离磨盘边沿为止(但在此之前须记住零点位置时千分尺的刻度，这样才能保证进刀量不会出差错)。修面机后退停止之后,再用手顺时钟方向旋动千分尺一整圈(往下移动即进刀)，使其再反至零点位置，再根据研磨盘表面情况来判断是否要粗修。粗修的比较大进刀量不能超过150um，修面速度一般为15HZ，精修的进刀量推荐为20um，修面速度一般为10HZ，把进刀量与修面速度设置好之后，再把研磨盘转速设置为最高转速95转/分钟，然后依次启动研磨盘与修面机(由于研磨盘修面需要较高的转速才能得到理想的修面效果，因此在这种高速旋转的条件下，主轴噪音会比正常研磨的噪音大，这种噪音为正常噪音)，此时修面机刀架往研磨盘中间移动开始修面。为了节省时间，一般进的时候粗修，退的时候精修。如果研磨盘的表面相对比较平的话只需要精修就够了。但要注意的是：修面机在安装了修面刀的情况下，如果要启动修面机必须先启动研磨盘旋转充分之后方能启动修面机。，如需要加工螺旋槽，请参考以下操作方法，设置修面机速度为45HZ，然后设置磨盘主轴转速。
根据螺旋槽间距不同设置不同的磨盘转速(假如要加工2mm间距螺旋槽，则磨盘转速调整为40rpm)，然后依次启动磨盘与修面机，建议加工螺旋槽时修面机由磨盘中心向磨盘外圆方向运行。“磨盘启动”键，界面将会跳回可视化运行状态窗口。1：选择“自动参数”进入配方编辑界面，依次输入配方名，磨盘速度，研磨时间，压力，磨液型号，然后点击下载，参数将会自动保存并下载到PLC中，按下“磨盘启动”键，界面跳回可视化运行状态窗口，加工到达设定的研磨时间，磨盘停止工作并报警，同时3个工位的砝码装置将自动上升。2搅拌滴液系统：由有机玻璃桶、有机玻璃盖、减速机和搅拌杆、滴液管组成，它的工作原理是搅拌启动研磨液会自动能过滴液管流到研磨盘上，根据要求可调节流量大小(具体调节见滴液泵说明书)。3气缸升降操作：工件研磨(或抛光)的压力是由砝码提供，其升降运动由气缸实现，每工位的气缸单独控制，顶架上的手动阀和启动按钮分别控制相对应的气缸进行上升或下降动作。初次操作时应注意调整气缸(或砝码)的中心与产品冶具的中心相是否同心，使砝码的定位止口能顺利配合进入工件冶具的定位孔。4研磨流程操作：该界面可设定多组参数，满足不同的工艺要求。
还有提高切削能力和加工散热等作用。
研磨速度研磨速度是控制余量去除速度和研磨表面质量的重要工艺参数。图5为工件余量去除、研磨便面粗糙度与研磨速度的关系曲线。为了获得规定的表面粗糙度而必须耗费的研磨时间大于去除余量所需的时间，就应适当降低研磨速度，反之一样，而平面研磨时速度可参照表2选取研磨速度。研磨速度对余量去除和表面粗糙度的影响对研具的磨损影响很大。研磨速度过快时，研具急剧磨损，可能引起工件的热变形，直接影响加工精度。因此，为了避免研磨磨损过快，可根据实际情况，在表2基础上选取1/3~1/2范围进行研磨。研磨时间通常密封面在研磨前，通过其他加工方式获得预加工精度，研磨开始阶段，因研磨剂磨粒锋利，微切削作用强，零件研磨表面的几何形状误差和粗糙度较快得以纠正。随着研磨时间延长，磨粒钝化，微切削作用下降，不仅加工精度不能提高，反而因热量增加造成表面质量下降。所以，粗研时在规定工艺参数内，选用较粗的研磨剂、较高速度和研磨压力下进行研磨，以较快地消除几何形状误差和切去较大的加工余量，通常即可完成粗磨，以密封面全部研磨出为准。一般精研时间约为5min~10min，超过10min研磨效果不明显。抛光完成研磨后的密封面，便面采用酒精或清洗器密封面。
以规格为6"，2500LB煤化工样机平面密封面技术要求为例。福建磨平面加工
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平面研磨抛光机中砂带在进行研磨软质材料，铝、铜以及铝合金、铜合金材质，加工的时候，比较容易出现磨屑堵塞砂带表面的现象，砂带的寿命通常会由于磨粒的脱落而出现结束，由于磨屑出现堵塞会使整个砂带表面出现磨削能力下降。终磨粒失去切削作用，砂带的接头会出现堵塞而使表面产生异状波纹，磨削力会以连续曲线形式会出现降低，出现堵塞也会以缓状连续的曲线形式出现。造成这种平面研磨抛光机砂带出现堵塞的的主要原因，是由于磨削压力太大，砂带磨料的选择不合适，磨削的温度过高，接触轮出现变形过大或者是形状误差过大，会出现位置差异，以及老化变形，磨削用量的选择不当等多种因素，都会出现堵塞的现象，有正常的堵塞，过早堵塞、纵向部分堵塞、以及接头部分的堵塞，出现堵塞的原因以及消除这种堵塞的方法。1、正常堵塞，是在平面研磨抛光机加工中出现的正常堵塞。2、过早堵塞的原因有多种，平面研磨抛光机研磨中压力过大，需要降低压力;砂带的粒度使其压力过大，也需要降低研磨压力;对加工工件来说，选择的砂带粒度不合适，需要选用正确的粒度;粘胶的硬度不合适或者是出现老化，需要更换压磨板;砂带的温度过高，需要适当的干燥，降低砂带温度。 湖南精密五金平面按需定制
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