降温后得到生长有氧化锌基合金薄膜的衬底;所述金属为氧化锌基合金中的金属元素;2)将叉指电极材料真空蒸镀到氧化锌基合金薄膜表面,再经过光刻后,得到叉指电极层;3)在上述步骤得到的叉指电极层的非叉指电极处按压in颗粒后,得到氧化锌基合金紫外探测器。本发明上述制备方法中,所述氧化锌基合金紫外探测器的结构、组成、参数及其推荐原则,徐州锌基合金衬套价格,与前述氧化锌基合金紫外探测器中的结构、组成、参数及其推荐原则均可以一一对应,在此不再一一赘述。本发明首先在含有氧气的条件下,将有机锌源和有机金属化合物在加热衬底上进行化学气相沉积,降温后得到生长有氧化锌基合金薄膜的衬底。本发明所述金属是指氧化锌基合金中的金属元素,所述有机金属化合物是指氧化锌基合金中的金属元素的原料,徐州锌基合金衬套价格。本发明原则上对所述含有氧气的具体参数没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为提高氧化锌基合金的性能参数,提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述氧气流速推荐为150~1850sccm,更推荐为350~1650sccm,更推荐为550~1450sccm,徐州锌基合金衬套价格,更推荐为750~1250sccm,更推荐为950~1050sccm。徐州锌基合金衬套公司哪家好?徐州锌基合金衬套价格
更推荐为4~8μm,更推荐为5~7μm。所述叉指电极层中,叉指电极的叉指的对数推荐为10~25对,更推荐为12~23对,更推荐为14~21对,更推荐为16~19对。所述叉指电极层中,叉指的长度推荐为~2mm,更推荐为~,更推荐为~,更推荐为~。所述叉指电极层中,叉指的宽度推荐为2~10μm,更推荐为3~9μm,更推荐为4~8μm,更推荐为5~7μm。本发明原则上对所述in颗粒的具体参数没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述in颗粒的直径推荐为1~3mm,更推荐为~,更推荐为~,更推荐为~。所述in颗粒的高度推荐为~1mm,更推荐为~,更推荐为~。本发明原则上对所述氧化锌基合金薄膜的具体组成没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述氧化锌基合金中的合金元素推荐包括al、li、be、cd、hg、co、fe、pb、mn、ti和ni中的一种或多种,更推荐为al、li、be、cd、hg、co、fe、pb、mn、ti或ni。徐州锌基合金衬套批发锌基合金衬套施工过程是怎么样的?
全部量100%基准:以下相同)为~%、也可以为~%、也可以为~%、或者也可以为~%。一实施方式的锌基合金丸粒还含有mg。通过添加mg,由此施加应力而再结晶化得到促进。即,通过在制造工序中赋予应力,可以调整锌基合金丸粒的硬度,因此可以得到具有符合喷砂加工的目的的喷丸清理能力的锌基合金丸粒。但是若过量添加mg则锌基合金丸粒的耐冲击性降低或者产生制造上的不良问题,因此mg的含量为~%、也可以为~%、或者也可以为~%。cu是为了改善锌基合金丸粒的耐蚀性而添加的元素。改善耐蚀性的结果,使用该锌基合金丸粒进行喷砂加工时,可以抑制在工件的表面产***黑。但是,若过量添加cu则锌基合金丸粒的耐冲击性降低,因此添加量推荐为微量。一实施方式中,cu的添加量(全部量100%基准:以下相同)为0~%、也可以为~%、或者也可以为~、也可以为~%。cu还具有改善锌基合金丸粒的维氏硬度、耐冲击性的效果。微量添加cu,不仅赋予抑制对前述工件的发黑的产生的效果,而且还具有进一步改善锌基合金丸粒的喷丸清理能力和寿命的效果。锌基合金丸粒也用于由铝合金、镁合金、锌合金构成的压铸产品等硬度比较低的工件。
若锌基合金丸粒的硬度过低则对于工件的喷丸清理能力不充分,若过硬则对于工件的表面的外观性造成影响。考虑到工件的物性和喷丸清理目的,锌基合金丸粒的维氏硬度为80~150hv、也可以为80~100hv。并且可以以成为该硬度的方式调整al的含量或cu的添加量。一实施方式的锌基合金丸粒由zn、al和mg构成,或者由zn、al、mg和微量的cu构成,但是也可以含有其它不可避免的杂质。但是,若不可避免的杂质的含量升高则耐冲击性降低,导致寿命降低。因此,不可避免的杂质的总含量推荐尽可能少。相对于锌基合金丸粒的al的含量为~%,相对于锌基合金丸粒的mg的含量为~%,相对于锌基合金丸粒的cu的含量为~%,锌基合金丸粒的维氏硬度为80~100hv的锌基合金丸粒是特别推荐的。相对于锌基合金丸粒的al的含量为~%或~%,相对于锌基合金丸粒的mg的含量为~%,相对于锌基合金丸粒的cu的含量为~%,锌基合金丸粒的维氏硬度为80~100hv的锌基合金丸粒是进一步特别推荐的。接着,以下通过参照图1对于一实施方式的锌基合金丸粒的制造方法进行说明。s01:称量原料的工序称量成为原料的金属。例如作为al的原料(基体金属),可列举出jish2102的铝基体金属特1类(%以上)、jish2111。咨询锌基合金衬套选择宏润。
三甲基铅管路的载气流速为10ml/min。步骤3)生长2小时,关闭有机源,以5℃/min的速率降低温度,**终降低到室温,取出衬底。步骤4)将步骤3)中样品放入真空镀膜机中,在气压为,使用蒸发电流140a,将50mgau颗粒蒸镀到样品表面。步骤5)将步骤4)中得到的样品通过光刻和湿法刻蚀表面的金得到叉指电极,在叉指电极上按压in粒得到msm结构的znpbo紫外探测器。参见图1,图1为本发明提供的氧化锌基合金紫外探测器的结构示意简图。对本发明实施例1中得到的氧化锌基合金薄膜进行粉末x射线衍射(xrd)测试。参见图2,图2为本发明实施例1得到的氧化锌基合金薄膜的粉末x射线衍射图谱。从图2中的图谱可以看出,在蓝宝石衬底上制备的氧化锌基合金薄膜的晶体结构为单一相结构。氧化锌基合金(0002)的吸收峰比较尖锐,说明结晶质量较高。对本发明实施例1中得到的氧化锌基合金薄膜进行紫外-可见光吸收光谱(uv-vis)测试。参见图3,图3为本发明实施例1得到的氧化锌基合金薄膜的紫外-可见光吸收光谱图。从图3中的谱图可以看出,制备的氧化锌基合金薄膜具有较陡的单一光吸收截止边,吸收截止边十分陡峭的,其截止边位于400nm附近。对本发明实施例1中得到的氧化锌基合金紫外探测器进行光响应特性测试。什么是锌基合金衬套,锌基合金衬套的特点有哪些?徐州锌基合金衬套价格
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本发明属于半导体紫外探测技术领域,涉及一种氧化锌基合金紫外探测器及其制备方法,尤其涉及一种具有陡峭的光吸收截止边的单一相晶体结构的氧化锌基合金薄膜紫外探测器及其制备方法。背景技术:太阳辐射是维持人类日常活动的能源之一,虽然紫外光在太阳光谱只占到7%的比例,但是在人类生活中占有十分重要的角色。近些年来由于大气中臭氧层的破坏加重,使得地球表面的紫外辐射逐渐增多,过量的紫外辐射可以引起皮肤*、白内障以及免疫系统功能的降低,还可以使农作物减产,产生一系列环境问题。因此,关于紫外辐射的探测技术引起了的关注。而且紫外探测技术在导弹尾焰探测,火焰传感,空气和水净化以及空对空通信等和民用领域有广阔的应用前景。近年来,伴随着紫外辐照在**、科学研究和民用领域的应用,目前,已经入商用的紫外探测器主要有硅探测器、光电倍增管和半导体探测器。硅基紫外光电管需要附带滤光片,光电倍增管则需要在高电压下工作,而且体积笨重、效率低、易损坏且成本较高,对于实际应用有一定的局限性。相对硅探测器和光电倍增管来说,由于半导体材料具有携带方便、造价低、响应度高等优点而备受关注,也随之快速发展。徐州锌基合金衬套价格
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