本发明属于半导体紫外探测技术领域,涉及一种氧化锌基合金紫外探测器及其制备方法,尤其涉及一种具有陡峭的光吸收截止边的单一相晶体结构的氧化锌基合金薄膜紫外探测器及其制备方法。背景技术:太阳辐射是维持人类日常活动的能源之一,虽然紫外光在太阳光谱只占到7%的比例,但是在人类生活中占有十分重要的角色。近些年来由于大气中臭氧层的破坏加重,使得地球表面的紫外辐射逐渐增多,过量的紫外辐射可以引起皮肤*、白内障以及免疫系统功能的降低,还可以使农作物减产,产生一系列环境问题。因此,关于紫外辐射的探测技术引起了的关注。而且紫外探测技术在导弹尾焰探测,火焰传感,空气和水净化以及空对空通信等和民用领域有广阔的应用前景。近年来,徐州锌基合金衬套价格,伴随着紫外辐照在**、科学研究和民用领域的应用,徐州锌基合金衬套价格,徐州锌基合金衬套价格,目前,已经入商用的紫外探测器主要有硅探测器、光电倍增管和半导体探测器。硅基紫外光电管需要附带滤光片,光电倍增管则需要在高电压下工作,而且体积笨重、效率低、易损坏且成本较高,对于实际应用有一定的局限性。相对硅探测器和光电倍增管来说,由于半导体材料具有携带方便、造价低、响应度高等优点而备受关注,也随之快速发展。锌基合金衬套施工过程是怎么样的?徐州锌基合金衬套价格
锌合金是以锌为基础加入其他元素组成的合金。常加的合金元素有铝、铜、镁、镉、铅、钛等低温锌合金。锌合金熔点低,活动性好,易熔焊,钎焊以及塑性,在大气中耐侵蚀,残废物便于回收以及重熔;但蠕变强度低,易产生自然时效引发尺寸变化。接下来小编为大家介绍锌合金材料使用注意事项及锌合金表面处理特色。锌合金是以锌为基础加入其他元素组成的合金。常加的合金元素有铝、铜、镁、镉、铅、钛等低温锌合金。锌合金熔点低,活动性好,易熔焊,钎焊以及塑性,在大气中耐侵蚀,残废物便于回收以及重熔;但蠕变强度低,易产生自然时效引发尺寸变化。接下来小编为大家介绍锌合金材料使用注意事项及锌合金表面处理特色。锌合金材料使用注意事项一、抗蚀性差当合金成份中杂质元素铅、镉、锡超过标准时,致使铸件老化而产生变形,表现为体积胀大,机械机能尤其是塑性降落,时间长了乃至决裂。铅、锡、镉在锌合金中溶解度很小,因此集中于晶粒边界而成为阴极,富铝的固溶体成为阳极,在水蒸气(电解质)存在的前提下,促成晶间电化学侵蚀。压铸件因晶间侵蚀而老化。二、时效作用锌合金的组织主要由含Al以及Cu的富锌固溶体以及含Zn的富Al固溶体所组成。徐州锌基合金衬套价格锌基合金衬套的厂家报价是多少?
本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述衬底推荐包括蓝宝石衬底、石英衬底和氧化镁衬底中的一种或多种,更推荐为蓝宝石衬底、石英衬底或氧化镁衬底。本发明所述衬底的厚度推荐为100~600nm,更推荐为200~500nm,更推荐为300~400nm。本发明原则上对所述叉指电极层的具体材质和参数没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述叉指电极层的材质推荐包括金、银、铂和铝中的一种或多种,更推荐为金、银、铂或铝。本发明所述叉指电极层的厚度推荐为20~40nm,更推荐为23~38nm,更推荐为25~35nm,更推荐为27~32nm。本发明原则上对所述叉指电极的具体参数没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述叉指电极层中,叉指电极的指间距推荐为2~10μm,更推荐为3~9μm。
提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述有机金属化合物推荐包括甲基金属化合物、乙基金属化合物、甲基茂基金属化合物和乙基茂基金属化合物中的一种或多种,更推荐为甲基金属化合物、乙基金属化合物、甲基茂基金属化合物或乙基茂基金属化合物。本发明原则上对所述有机金属化合物的加入量没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为提高氧化锌基合金的性能参数,提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述有机金属化合物的加入量依据氧化锌基合金薄膜中,zno和合金元素氧化物的质量比进行适应性调整即可。本发明原则上对所述有机金属化合物的输送载气及其参数没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为提高氧化锌基合金的性能参数,提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述有机金属化合物的输送载气推荐包括高纯氮气和/或高纯一氧化氮,更推荐为高纯氮气或高纯一氧化氮。本发明所述有机金属化合物的输送载气流速推荐为10~100sccm,更推荐为30~80sccm。徐州市宏润耐磨材料厂长期生产锌基合金衬套。
更推荐为50~60sccm。本发明原则上对所述加热衬底的具体温度没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为提高氧化锌基合金的性能参数,提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述加热衬底的温度推荐为350~1050℃,更推荐为450~950℃,更推荐为550~850℃,更推荐为650~750℃。本发明原则上对所述化学气相沉积的过程参数没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为提高氧化锌基合金的性能参数,提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述化学气相沉积的时间推荐为~5h,更推荐为1~,更推荐为~4h,更推荐为2~,更推荐为~3h。所述化学气相沉积的温度推荐为350~1050℃,更推荐为450~950℃,更推荐为550~850℃,更推荐为650~750℃。本发明原则上对所述降温的具体参数没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为提高氧化锌基合金的性能参数,提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度。锌基合金衬套图纸中各种符号都代表什么?昭通锌基合金衬套生产厂家
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更推荐为4~8μm,更推荐为5~7μm。所述叉指电极层中,叉指电极的叉指的对数推荐为10~25对,更推荐为12~23对,更推荐为14~21对,更推荐为16~19对。所述叉指电极层中,叉指的长度推荐为~2mm,更推荐为~,更推荐为~,更推荐为~。所述叉指电极层中,叉指的宽度推荐为2~10μm,更推荐为3~9μm,更推荐为4~8μm,更推荐为5~7μm。本发明原则上对所述in颗粒的具体参数没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述in颗粒的直径推荐为1~3mm,更推荐为~,更推荐为~,更推荐为~。所述in颗粒的高度推荐为~1mm,更推荐为~,更推荐为~。本发明原则上对所述氧化锌基合金薄膜的具体组成没有特别限制,本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整,本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能,提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度,所述氧化锌基合金中的合金元素推荐包括al、li、be、cd、hg、co、fe、pb、mn、ti和ni中的一种或多种,更推荐为al、li、be、cd、hg、co、fe、pb、mn、ti或ni。徐州锌基合金衬套价格
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