[VIP第1年] 指数:3
本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述衬底推荐包括蓝宝石衬底、石英衬底和氧化镁衬底中的一种或多种，更推荐为蓝宝石衬底、石英衬底或氧化镁衬底。本发明所述衬底的厚度推荐为100～600nm，更推荐为200～500nm，更推荐为300～400nm，徐州锌基合金衬套哪里有。本发明原则上对所述叉指电极层的具体材质和参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述叉指电极层的材质推荐包括金，徐州锌基合金衬套哪里有、银、铂和铝中的一种或多种，更推荐为金、银、铂或铝。本发明所述叉指电极层的厚度推荐为20～40nm，徐州锌基合金衬套哪里有，更推荐为23～38nm，更推荐为25～35nm，更推荐为27～32nm。本发明原则上对所述叉指电极的具体参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述叉指电极层中，叉指电极的指间距推荐为2～10μm，更推荐为3～9μm。徐州锌基合金衬套公司哪家好？徐州锌基合金衬套哪里有
所述氧化锌基合金在光吸收截止边位置(或光吸收截止边附近)，5nm波段范围内透射率下降70％～90％，更推荐下降80％～90％，更推荐下降82％～89％，更推荐下降84％～88％，具体可以为90％。本发明原则上对所述氧化锌基合金的结构没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为提高氧化锌基合金薄膜的性能参数，更好的利于提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述氧化锌基合金薄膜，即氧化锌基合金具有单一相晶体结构，更具体的，所述氧化锌基合金薄膜推荐为具有单一相晶体结构氧化锌基合金薄膜。具体的，所述氧化锌基合金薄膜推荐为具有单一六角相晶体结构的氧化锌基合金薄膜。本发明原则上对所述氧化锌基合金薄膜的参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为提高氧化锌基合金的性能参数，更好的利于提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述氧化锌基合金薄膜的长度推荐为1～5cm，更推荐为～，更推荐为2～4cm，更推荐为～。所述氧化锌基合金薄膜的宽度推荐为1～5cm，更推荐为～，更推荐为2～4cm，更推荐为～。所述氧化锌基合金薄膜的厚度推荐为100～600nm。徐州锌基合金衬套哪里有徐州市宏润耐磨材料厂锌基合金衬套低价格，品类丰富。
参见图4，图4为本发明实施例1得到的氧化锌基合金紫外探测器的光响应特性曲线图。从图4的曲线中可以看出，制备的氧化锌基合金紫外探测器在10v下的峰值响应度位于峰值位于380nm附近，峰值响应度21a/w，光响应截止边400nm附近，说明制备的氧化锌基合金紫外探测器具有高的光响应度，比市面常见的紫外探测器的响应度高出2个数量级。实施例2～5为了考察掺杂其他金属对于薄膜的影响，除了改变掺杂金属之外，其他条件都与实施例1一样。编号2，3，4，5的样品更换的掺杂金属分别为：fe，mn，ni，co。对本发明实施例2～5制备的氧化锌基合金薄膜样品进行表征，结果表明，样品2，3，4，5均可以得到六角相结构的晶相。对本发明实施例2～5中制备的氧化锌基合金薄膜进行紫外-可见光吸收光谱(uv-vis)测试。结果表明，氧化锌基合金薄膜样品2，3，4，5的吸收边分别为395nm，398nm，402nm，405nm。对本发明实施例2～5中得到的氧化锌基合金紫外探测器进行光响应特性测试。结果表明，氧化锌基合金薄膜样品2，3，4，5分布制备得到的探测器，其响应度分别为1a/w，，6a/w，5a/w。光响应截止边分别为395nm，398nm，402nm，405nm。
本发明原则上对所述氧化锌基合金薄膜的具体比例没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述氧化锌基合金薄膜中，zno和合金元素氧化物的质量比推荐为(5～1000)：1，更推荐为(10～800)：1，更推荐为(50～500)：1，更推荐为(100～300)：1。本发明原则上对所述氧化锌基合金薄膜的具体参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述氧化锌基合金推荐具有陡峭的吸收截止边，更推荐为具有陡峭的光吸收截止边。本发明所述氧化锌基合金的光吸收截止边为390～410nm，推荐为392～408nm，更推荐为394～406nm，更推荐为396～404nm，更推荐为398～402nm。本发明原则上对所述氧化锌基合金材料的特性参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为提高氧化锌基合金的性能参数，更好的利于提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度。锌基合金衬套制造安装多少钱？
本发明属于半导体紫外探测技术领域，涉及一种氧化锌基合金紫外探测器及其制备方法，尤其涉及一种具有陡峭的光吸收截止边的单一相晶体结构的氧化锌基合金薄膜紫外探测器及其制备方法。背景技术：太阳辐射是维持人类日常活动的能源之一，虽然紫外光在太阳光谱只占到7％的比例，但是在人类生活中占有十分重要的角色。近些年来由于大气中臭氧层的破坏加重，使得地球表面的紫外辐射逐渐增多，过量的紫外辐射可以引起皮肤*、白内障以及免疫系统功能的降低，还可以使农作物减产，产生一系列环境问题。因此，关于紫外辐射的探测技术引起了的关注。而且紫外探测技术在导弹尾焰探测，火焰传感，空气和水净化以及空对空通信等和民用领域有广阔的应用前景。近年来，伴随着紫外辐照在**、科学研究和民用领域的应用，目前，已经入商用的紫外探测器主要有硅探测器、光电倍增管和半导体探测器。硅基紫外光电管需要附带滤光片，光电倍增管则需要在高电压下工作，而且体积笨重、效率低、易损坏且成本较高，对于实际应用有一定的局限性。相对硅探测器和光电倍增管来说，由于半导体材料具有携带方便、造价低、响应度高等优点而备受关注，也随之快速发展。锌基合金衬套在使用过程中需要注意哪些？徐州锌基合金衬套哪里有
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本发明针对现有的纯zno探测器对探测370～400nm这一波段紫外线存在效率低下，或者根本无法探测。而掺杂其他金属又会面临分相，或者组分展宽而造成光吸收截止边变平缓等等诸多对于材料应用与紫外探测器件的制备十分不利的缺陷。本发明创造性的得到了一种具有特定结构的氧化锌基合金紫外探测器，通过特定的层结构和组成进行配合，充分发挥了氧化锌基合金薄膜层优势，其光吸收截止边位于400nm附近，具有较高的响应度，比常见的紫外探测器的响应度高出2个数量级。本发明提供的紫外探测器充分利用了氧化锌基合金材料具有单一六角相晶体结构，具有结晶质量高，吸收截止边陡峭等特点，以及具有面积大、表面平整等优点。而且本发明提供的可控制备方法，步骤简单，条件温和，重复性好，过程可控，有利于规模化推广和应用。实验结果表明，本发明制备的氧化锌基合金紫外探测器，光响应截止边陡峭且光响应截止边在390～410nm。而且具有较高的响应度，比常见的紫外探测器的响应度高出2个数量级。附图说明图1为本发明提供的氧化锌基合金紫外探测器的结构示意简图；图2为本发明实施例1得到的氧化锌基合金薄膜的粉末x射线衍射图谱。徐州锌基合金衬套哪里有
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