[VIP第1年] 指数:3
本发明针对现有的纯zno探测器对探测370～400nm这一波段紫外线存在效率低下，或者根本无法探测。而掺杂其他金属又会面临分相，或者组分展宽而造成光吸收截止边变平缓等等诸多对于材料应用与紫外探测器件的制备十分不利的缺陷。本发明创造性的得到了一种具有特定结构的氧化锌基合金紫外探测器，通过特定的层结构和组成进行配合，充分发挥了氧化锌基合金薄膜层优势，其光吸收截止边位于400nm附近，具有较高的响应度，比常见的紫外探测器的响应度高出2个数量级。本发明提供的紫外探测器充分利用了氧化锌基合金材料具有单一六角相晶体结构，具有结晶质量高，吸收截止边陡峭等特点，以及具有面积大、表面平整等优点。而且本发明提供的可控制备方法，步骤简单，条件温和，徐州锌基合金衬套生产厂家，重复性好，徐州锌基合金衬套生产厂家，过程可控，有利于规模化推广和应用。实验结果表明，本发明制备的氧化锌基合金紫外探测器，徐州锌基合金衬套生产厂家，光响应截止边陡峭且光响应截止边在390～410nm。而且具有较高的响应度，比常见的紫外探测器的响应度高出2个数量级。附图说明图1为本发明提供的氧化锌基合金紫外探测器的结构示意简图；图2为本发明实施例1得到的氧化锌基合金薄膜的粉末x射线衍射图谱。徐州市宏润耐磨材料厂锌基合金衬套厂家报价。徐州锌基合金衬套生产厂家
所述叉指电极层中，叉指电极的叉指的对数为10～25对；所述叉指电极层中，叉指的长度为～2mm；所述叉指电极层中，叉指的宽度为2～10μm；所述氧化锌基合金薄膜中，zno和合金元素氧化物的质量比为(5～1000)：1；所述氧化锌基合金薄膜的吸收截止边为390～410nm；所述氧化锌基合金薄膜具有单一相晶体结构。推荐的，所述合金元素包括al、li、be、cd、hg、co、fe、pb、mn、ti和ni中的一种或多种；所述吸收截止边为光吸收截止边；所述光吸收截止边包括紫外光和可见光的光吸收截止边；所述氧化锌基合金薄膜具有陡峭的光吸收截止边；所述氧化锌基合金薄膜在吸收截止边位置，5nm波段范围内透射率下降70％～90％；所述单一相晶体结构具体为单一六角相晶体结构。推荐的，所述氧化锌基合金薄膜的长度为1～5cm；所述氧化锌基合金薄膜的宽度为1～5cm；所述氧化锌基合金薄膜的厚度为100～600nm；所述氧化锌基合金薄膜的均方根粗糙度为～2nm。本发明还提供了一种氧化锌基合金紫外探测器的制备方法，包括以下步骤：1)在含有氧气的条件下，将有机锌源和有机金属化合物在加热衬底上进行化学气相沉积，降温后得到生长有氧化锌基合金薄膜的衬底；所述金属为氧化锌基合金中的金属元素。徐州锌基合金衬套生产厂家锌基合金衬套的使用规定有哪些？
所述氧化锌基合金在光吸收截止边位置(或光吸收截止边附近)，5nm波段范围内透射率下降70％～90％，更推荐下降80％～90％，更推荐下降82％～89％，更推荐下降84％～88％，具体可以为90％。本发明原则上对所述氧化锌基合金的结构没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为提高氧化锌基合金薄膜的性能参数，更好的利于提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述氧化锌基合金薄膜，即氧化锌基合金具有单一相晶体结构，更具体的，所述氧化锌基合金薄膜推荐为具有单一相晶体结构氧化锌基合金薄膜。具体的，所述氧化锌基合金薄膜推荐为具有单一六角相晶体结构的氧化锌基合金薄膜。本发明原则上对所述氧化锌基合金薄膜的参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为提高氧化锌基合金的性能参数，更好的利于提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述氧化锌基合金薄膜的长度推荐为1～5cm，更推荐为～，更推荐为2～4cm，更推荐为～。所述氧化锌基合金薄膜的宽度推荐为1～5cm，更推荐为～，更推荐为2～4cm，更推荐为～。所述氧化锌基合金薄膜的厚度推荐为100～600nm。
本发明属于半导体紫外探测技术领域，涉及一种氧化锌基合金紫外探测器及其制备方法，尤其涉及一种具有陡峭的光吸收截止边的单一相晶体结构的氧化锌基合金薄膜紫外探测器及其制备方法。背景技术：太阳辐射是维持人类日常活动的能源之一，虽然紫外光在太阳光谱只占到7％的比例，但是在人类生活中占有十分重要的角色。近些年来由于大气中臭氧层的破坏加重，使得地球表面的紫外辐射逐渐增多，过量的紫外辐射可以引起皮肤*、白内障以及免疫系统功能的降低，还可以使农作物减产，产生一系列环境问题。因此，关于紫外辐射的探测技术引起了的关注。而且紫外探测技术在导弹尾焰探测，火焰传感，空气和水净化以及空对空通信等和民用领域有广阔的应用前景。近年来，伴随着紫外辐照在**、科学研究和民用领域的应用，目前，已经入商用的紫外探测器主要有硅探测器、光电倍增管和半导体探测器。硅基紫外光电管需要附带滤光片，光电倍增管则需要在高电压下工作，而且体积笨重、效率低、易损坏且成本较高，对于实际应用有一定的局限性。相对硅探测器和光电倍增管来说，由于半导体材料具有携带方便、造价低、响应度高等优点而备受关注，也随之快速发展。锌基合金衬套中常用的材料有哪几种？
本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述衬底推荐包括蓝宝石衬底、石英衬底和氧化镁衬底中的一种或多种，更推荐为蓝宝石衬底、石英衬底或氧化镁衬底。本发明所述衬底的厚度推荐为100～600nm，更推荐为200～500nm，更推荐为300～400nm。本发明原则上对所述叉指电极层的具体材质和参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述叉指电极层的材质推荐包括金、银、铂和铝中的一种或多种，更推荐为金、银、铂或铝。本发明所述叉指电极层的厚度推荐为20～40nm，更推荐为23～38nm，更推荐为25～35nm，更推荐为27～32nm。本发明原则上对所述叉指电极的具体参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述叉指电极层中，叉指电极的指间距推荐为2～10μm，更推荐为3～9μm。徐州市宏润耐磨材料厂提供锌基合金衬套的设计图纸。徐州锌基合金衬套价格
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更推荐为50～60sccm。本发明原则上对所述加热衬底的具体温度没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为提高氧化锌基合金的性能参数，提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述加热衬底的温度推荐为350～1050℃，更推荐为450～950℃，更推荐为550～850℃，更推荐为650～750℃。本发明原则上对所述化学气相沉积的过程参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为提高氧化锌基合金的性能参数，提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述化学气相沉积的时间推荐为～5h，更推荐为1～，更推荐为～4h，更推荐为2～，更推荐为～3h。所述化学气相沉积的温度推荐为350～1050℃，更推荐为450～950℃，更推荐为550～850℃，更推荐为650～750℃。本发明原则上对所述降温的具体参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为提高氧化锌基合金的性能参数，提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度。徐州锌基合金衬套生产厂家
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