[VIP第1年] 指数:3
参照本发明提供的结构和制备方法，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步保证氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述氧化锌基合金紫外探测器的光响应截止边推荐为390～410nm，徐州锌基合金衬套批发，徐州锌基合金衬套批发，推荐为392～408nm，更推荐为394～406nm，更推荐为396～404nm，更推荐为398～402nm。具体的，本发明所述氧化锌基合金紫外探测器推荐包括衬底。其中，所述氧化锌基合金薄膜层推荐复合在所述衬底上。本发明所述氧化锌基合金紫外探测器推荐还包括叉指电极层。其中，所述叉指电极层推荐复合在所述氧化锌基合金薄膜层上。本发明为完整和细化整个氧化锌基合金紫外探测器结构，进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，本发明所述氧化锌基合金紫外探测器推荐还包括in粒。其中，所述in颗粒推荐复合在所述叉指电极层的非叉指电极表面上，徐州锌基合金衬套批发。即，在叉指电极层表面上设置有in粒，in颗粒设置在不具有叉指电极结构的叉指电极层上。本发明特别采用in粒和金形成欧姆接触，主要起防止测试时，金薄膜表面被划坏，起更好的接触的作用。本发明原则上对所述衬底的具体选择和参数没有特别限制。锌基合金衬套的类型有哪几种？徐州锌基合金衬套批发
所述叉指电极层中，叉指电极的叉指的对数为10～25对；所述叉指电极层中，叉指的长度为～2mm；所述叉指电极层中，叉指的宽度为2～10μm；所述氧化锌基合金薄膜中，zno和合金元素氧化物的质量比为(5～1000)：1；所述氧化锌基合金薄膜的吸收截止边为390～410nm；所述氧化锌基合金薄膜具有单一相晶体结构。推荐的，所述合金元素包括al、li、be、cd、hg、co、fe、pb、mn、ti和ni中的一种或多种；所述吸收截止边为光吸收截止边；所述光吸收截止边包括紫外光和可见光的光吸收截止边；所述氧化锌基合金薄膜具有陡峭的光吸收截止边；所述氧化锌基合金薄膜在吸收截止边位置，5nm波段范围内透射率下降70％～90％；所述单一相晶体结构具体为单一六角相晶体结构。推荐的，所述氧化锌基合金薄膜的长度为1～5cm；所述氧化锌基合金薄膜的宽度为1～5cm；所述氧化锌基合金薄膜的厚度为100～600nm；所述氧化锌基合金薄膜的均方根粗糙度为～2nm。本发明还提供了一种氧化锌基合金紫外探测器的制备方法，包括以下步骤：1)在含有氧气的条件下，将有机锌源和有机金属化合物在加热衬底上进行化学气相沉积，降温后得到生长有氧化锌基合金薄膜的衬底；所述金属为氧化锌基合金中的金属元素。徐州锌基合金衬套价格徐州市宏润耐磨材料厂锌基合金衬套厂家报价。
本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述衬底推荐包括蓝宝石衬底、石英衬底和氧化镁衬底中的一种或多种，更推荐为蓝宝石衬底、石英衬底或氧化镁衬底。本发明所述衬底的厚度推荐为100～600nm，更推荐为200～500nm，更推荐为300～400nm。本发明原则上对所述叉指电极层的具体材质和参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述叉指电极层的材质推荐包括金、银、铂和铝中的一种或多种，更推荐为金、银、铂或铝。本发明所述叉指电极层的厚度推荐为20～40nm，更推荐为23～38nm，更推荐为25～35nm，更推荐为27～32nm。本发明原则上对所述叉指电极的具体参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述叉指电极层中，叉指电极的指间距推荐为2～10μm，更推荐为3～9μm。
本发明属于半导体紫外探测技术领域，涉及一种氧化锌基合金紫外探测器及其制备方法，尤其涉及一种具有陡峭的光吸收截止边的单一相晶体结构的氧化锌基合金薄膜紫外探测器及其制备方法。背景技术：太阳辐射是维持人类日常活动的能源之一，虽然紫外光在太阳光谱只占到7％的比例，但是在人类生活中占有十分重要的角色。近些年来由于大气中臭氧层的破坏加重，使得地球表面的紫外辐射逐渐增多，过量的紫外辐射可以引起皮肤*、白内障以及免疫系统功能的降低，还可以使农作物减产，产生一系列环境问题。因此，关于紫外辐射的探测技术引起了的关注。而且紫外探测技术在导弹尾焰探测，火焰传感，空气和水净化以及空对空通信等和民用领域有广阔的应用前景。近年来，伴随着紫外辐照在**、科学研究和民用领域的应用，目前，已经入商用的紫外探测器主要有硅探测器、光电倍增管和半导体探测器。硅基紫外光电管需要附带滤光片，光电倍增管则需要在高电压下工作，而且体积笨重、效率低、易损坏且成本较高，对于实际应用有一定的局限性。相对硅探测器和光电倍增管来说，由于半导体材料具有携带方便、造价低、响应度高等优点而备受关注，也随之快速发展。徐州锌基合金衬套生产厂家有哪些？
在一定气压的条件下，使用蒸发电流，将au颗粒蒸镀到样品表面。步骤5)将步骤4)中得到的样品通过负胶光刻表面的金得到叉指电极，在叉指电极上按压in粒得到msm结构的紫外探测器。本发明上述步骤提供了一种具有陡峭的光吸收截止边的单一相晶体结构的氧化锌基合金薄膜紫外探测器及其制备方法。本发明以有机锌化合物作为锌源，有机金属化合物作为金属源，在通入氧气的条件下，金属有机化合物在化学气相沉积设备(mocvd)中生长氧化锌基合金薄膜层。本发明使用mocvd生长设备，通过调控生长条件，使制备得到的氧化锌基合金薄膜层具有结晶质量高，不出现分相，光吸收截止边陡峭，截止边在400nm附近等特点，得到了这特定的优异结构性征和结晶质量的氧化锌基合金薄膜，在通过结合特定的层结构和材质，使得氧化锌基合金紫外探测器的光吸收截止边位于390～410nm，具有较高的响应度，比常见的紫外探测器的响应度高出2个数量级。本发明氧化锌基合金薄膜紫外探测器中的氧化锌基合金材料具有单一相晶体结构，具有结晶质量高，光吸收截止边陡峭等特点，而且本发明制备氧化锌基合金薄膜材料还具有面积大、表面平整的优点。本发明提供的可控制备方法，步骤简单，条件温和，重复性好。锌基合金衬套原理及注意事项。徐州锌基合金衬套哪里有
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