非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技。上海Marposs 传感器测量范围
光谱共焦传感器可以测量几乎任何类型的材料(玻璃,陶瓷,塑料,半导体,金属,织物,纸张,皮革等)制成的样品。它们可以测量抛光表面(镜子,镜片,晶圆)以及粗糙表面。光斑尺寸、比较大采样斜率、工作距离和测量范围,分别是什么概念比较大采样斜率(Max.sampleslope,简称MSS),是光轴和样品表面法线之间的比较大角度,在此角度条件下测量依然可行。MSS是测量点处的实际局部斜率,而非理论上“平均曲面”的斜率。此功能*对镜面(镜面状)表面有重要意义;对散射表面,比较大采样斜率更高。对于所有类型的采样,采集信号的强度都随着倾斜角度的增加而减小。光斑尺寸(Spotsize),指光点的理论尺寸,即光斑的大小。工作距离(WorkingDistance),光学笔前端到量程近端的距离。测量范围(MeasuringRange,简称MR),0到比较大可量测值的区间范围。又叫测量行程。上海点光谱共焦传感器测量速度汽车挡风玻璃质量控制, 大工作距离和大景深的点传感器适用于车间环境,对3D形状、轮廓、HUD的多层厚度测量。
光谱共焦技术的非接触测量Irix?是一系列基于彩色共焦技术的非接触式传感器,能够测量对白光透明的任何材料上的距离和厚度。Irix?可同时测量5层材料。该控制器可与一大系列具有不同测量范围、机械尺寸和计量规范的光学探针结合使用,以满足多样化的应用需求。控制器有两种型号可供选择:带7英寸集成显示屏,或带有用于文件柜.display或采用盲板形式,机柜采用带DIN导轨连接。Irix控制器系列由不同型号(1个和2个同步通道)组成,结合各种各样的光学元件(Marposs和STIL),可提供优良的计量性能(高达纳米)。Irix以比较高的质量标准制造,是一种坚固可靠的产品,适合在工业环境中使用。彩色共焦技术允许测量任何能够反射白光的材料(例如:金属、玻璃、塑料、漆膜、液体)。非接触式测量适用于所有需要在不接触目标的情况下进行测量的情况一个光学探针可同时测量多达五个透明层高测量精度可互换传感器;Irix可保存多达32张地图,以便使用比较合适的探头。集成7“显示器不受热噪声和电噪声影响的无源光学探头SDK和协议命令的可用性,便于集成到任何系统中缩小测量点动态采集用编码器同步测量(空间同步)粗糙度测量
注意事项:?当整理光纤线时避免将其弯曲成曲率半径小于20mm的圆弧。?当不用光纤连接时,为了避免光纤头被污染,插口必须被保护盖盖住,否则可能导致传感器出故障。你知道光谱共焦传感器为什么采用LED白光吗?其实大家知道混色光是由众多不同波长光线组成的,我们称之为光谱。下面跟着小编一起来了解下光谱共焦传感器使用LED白光的原因吧:所有不同波长的可见光重叠在一起,形成白光。人类肉眼可见光的波长范围从400nm(蓝光)到700nm(红光)。通过透镜,不同颜色的光不会聚焦到同一个点上。这种现象称为色差透镜错误或者叫色差透镜偏差。马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,有想法可以来我司咨询!
气浮轴承是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。我司使用的为特殊设计加工的预压式气浮轴承,具有高刚性、高平面度、免维护、使用寿命长等特点,可确保设备24小时连续工作无异常,**长设备使用寿命达到10年。行业解决方案-微电子行业微电子行业微电子技术是随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。微电子技术是当代发展**快的技术之一,是电子信息产业的基础和心脏。微电子技术的发展,**推动了航天航空技术、遥测传感技术、通讯技术、计算机技术、网络技术及家用电器产业的迅猛发展。微电子制造中,需要大量的金线、在密封方面也需要胶。司逖光谱共焦传感器在金线检测、胶路检测方面可以为广大客户提供完美的解决方案,呈现清晰的数据和图像。光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,有想法的可以来电咨询!上海点光谱共焦传感器测量速度
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而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜,返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上,小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱,也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强,在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面,需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅,可以根据反射光的波长,增强或减弱折射率。因此,CCD矩阵上的每一个位置,对应一个测量物体到探头的距离。上海Marposs 传感器测量范围
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